國產(chǎn)集成電路設(shè)備重大突破 中微半導(dǎo)體5納米刻蝕機通過臺積電驗證

中證網(wǎng)訊（記者楊潔）根據(jù)解放日報12月18日消息，近期中微半導(dǎo)體自主研制的5納米等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。5納米相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的二萬分之一，是集成電路制程工藝最小線寬。臺積電宣布2019年將進行5納米制程試產(chǎn)、預(yù)計2020年量產(chǎn)。

刻蝕機是芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備之一，曾一度是發(fā)達國家的出口管制產(chǎn)品。中微半導(dǎo)體聯(lián)合創(chuàng)始人倪圖強表示，中微與泛林、應(yīng)用材料、東京電子、日立4家美日企業(yè)，組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產(chǎn)線供應(yīng)刻蝕機，如今通過臺積電驗證的5納米刻蝕機，預(yù)計能獲得比7納米更大的市場份額。

中微半導(dǎo)體是2004年由尹志堯博士與杜志游博士、倪圖強博士、麥?zhǔn)肆x博士等40多位半導(dǎo)體設(shè)備專家創(chuàng)辦，主要深耕集成刻蝕機領(lǐng)域，研制出中國大陸第一臺電介質(zhì)刻蝕機。

目前，中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕設(shè)備、硅通孔刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備等均已成功進入國內(nèi)外重要客戶供應(yīng)體系。截至2017年底，已有620多個中微半導(dǎo)體生產(chǎn)的刻蝕反應(yīng)臺運行在海內(nèi)外39條先進生產(chǎn)線上。

根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)，2018年第三季度中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額首次超越韓國，預(yù)計明年將成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場，包括中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)在內(nèi)的國產(chǎn)設(shè)備廠商有望提高設(shè)備滲透率。

備注：數(shù)據(jù)僅供參考，不作為投資依據(jù)。