2023年12月30日,天合光能股份有限公司申請一項名為“無銦異質(zhì)結(jié)電池及其制備方法“,公開號CN117317069A,申請日期為2023年10月。本發(fā)明公開了一種無銦異質(zhì)結(jié)電池及其制備方法。制備方法包括如下步驟:在N型硅基底的正面與背面分別制備本征非晶硅層;在正面的本征非晶硅層上制備N型摻雜層;在背面的本征非晶硅層上制備P型摻雜層;在P型摻雜層上依次制備透明導(dǎo)電種子層、透明導(dǎo)電材料層;在N型摻雜層上依次制備透明導(dǎo)電種子層、透明導(dǎo)電材料層;在各個透明導(dǎo)電材料層上分別制備保護層;以及在正面與背面分別制備金屬電極,金屬電極延伸至相應(yīng)的透明導(dǎo)電材料層。上述制備方法解決了無銦TCO材料通過磁控濺射成膜后晶化率低、光電特性差,在空氣中退火受氧氣影響,方阻急劇增大以及其耐候性較差的問題,大幅降低制造加工成本,滿足可靠性要求。
備注:數(shù)據(jù)僅供參考,不作為投資依據(jù)。
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